重磅发布!2022年度中国半导体十大研究进展

发布时间:2023-01-13浏览次数:456


05

双层二维半导体大面积外延生长


南京大学王欣然、李涛涛与东南大学王金兰、马亮团队紧密合作,提出了衬底表面台阶高度精确调控二维半导体层数的思想和“齐头并进”的全新生长机制,突破逐层生长的热力学限制,首次实现了厘米级均匀的双层MoS2外延生长,刷新了二维半导体器件开态电流的纪录,并满足2028年国际器件与系统路线图的技术指标。


该成果发表于《自然》杂志(Nature, 2022, 605, 69-75)


图片
双层MoS2的大面积外延生长

报道原地址:重磅发布!2022年度中国半导体十大研究进展 (qq.com)