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5月6日上午10点学术报告:聚焦离子束纳米加工技术

报告题目:聚焦离子束纳米加工技术

报告地点:田家炳楼南205

报告时间:56日(周三)上午10 : 00

报告人:王前进 (南京大学现代工程学院)

 

摘 要:聚焦离子束技术是把离子束聚焦到微纳米尺度,通过偏转系统实现微纳米加工的技术。报告将简要叙述聚焦离子束工作原理、精细操作技术、和应用前景等。

 

主讲人简介:王前进博士于2002年南京大学物理系光电子专业获学士学位,2005年于南京大学物理系凝聚态物理专业毕业后留校工作。具有丰富的聚焦离子束系统应用经验,擅长用聚焦离子束完成微米、深亚微米复杂人工微结构的大面积高精度加工,是中国电镜学会聚焦离子束专业委员会委员。目前主要研究兴趣为金属微纳结构的光学性质、聚焦离子束(FIB)微纳加工工艺。对金属亚波长微结构中的表面等离激元的电磁场基本性质、激发与传输机理、阵列类型及单胞参数对其增强透射现象的调控进行研究并取得相应成果。

动态信息录入:蒋红燕    责任编辑:蒋红燕 
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